委託分析

 本事業では、高解像度高感度二次イオン質量分析装置(NanoSIMS 50L)と普及型二次イオン質量分析装置(IMS-6F)を用いた分析の依頼を受け付け、専門のスタッフによる測定データおよび解析を提供します。

二次イオン質量分析装置(SIMS)の特徴

 二次イオン質量分析装置(SIMS)は、固体表面にイオンビームを入射させることによって、試料から発生した二次イオンを質量分析計で検出する装置です。 数十nmから数十μmの微小領域の微量元素分析や安定同位体分析を行うことができます。

高解像度高感度二次イオン質量分析装置 NanoSIMS 50L
・高空間分解能走査イメージング(0.05 μmのビーム径)
・高質量分解能
・7つの検出器による7マス同時測定
・高感度元素マップ
     (ppm以下の濃度での微量元素イメージング)
・高精度同位体比マップ

普及型二次イオン質量分析装置 IMS-6f
・水素からウランまで、ppb〜ppmオーダーの微量元素分析
・重水素 D/軽水素 H、13C/12Cなどの同位体比分析
・深さ方向の元素分析

分析例

<NanoSIMSによる毛髪断面の高分解能質量イメージング>

 NanoSIMS 50Lを用いて、毛髪断面の微小領域における質量イメージングを行った結果です。 高い分解能で微小領域内での各元素の分布を可視化することが可能です。
測定時間は30分〜3時間程度、元素・試料サイズにより変動します。
(株式会社東レリサーチセンターより提供)



<IMS-6fによる深さ方向濃度プロファイル・希土類元素測定例>



重水素を打ち込んだシリコンウェハの
          深さ方向重水素濃度プロファイル


 約0.01 μmの分解能で、10数 μmまでの深さ方向の濃度プロファイルを測定できます。
(定量値を求める場合には標準試料が必要となります。その際はご相談ください)







岩石試料中の希土類元素の存在度パターン

固体表面に対して微量元素の局所分析が可能です。
直径20〜30 μmの酸素イオンビームを用いて、ppm~ppbレベルで微量元素の濃度を測定できます。

左の測定例では、約30 ppbの微量なTm(ツリウム)の
濃度が測定できています。

委託分析料金

一般企業での平均的な委託分析料金はおよそ下記の金額になります。詳細についてはお問合せください。(お問合せ先)
  ・NanoSIMS  19,000円/時間 程度
  ・IMS-6f    6,500円/時間 程度